晶體的成分分析

       出了通過測(cè)量具有與圖9的示意圖中所示的軟磁合金膜相同組成的軟磁性合金膜的晶相部分而獲得的分析結(jié)果。 通過使用能量分散型X射線光譜儀(EDS);和示出了通過測(cè)量相同的軟磁性合金膜的非晶相部分而獲得的分析結(jié)果。從這些結(jié)果可以看出,結(jié)晶相部分包含大量的b-c-c Fe,而非晶相部分包含高濃度的Hf和O。圖中的Cu峰歸因于EDS支架;它們不是由于軟磁性合金膜中包含的元素引起的。

通過比較從圖1和圖2獲得的結(jié)果。參照?qǐng)D8和9,具有表1所示的特性值。與具有圖7所示的結(jié)構(gòu)的樣品相比,圖9的結(jié)構(gòu)包含較大比例的非晶相。 8.由于非晶態(tài)相的比例較大,該樣品的電阻率值顯著增加,如表1所示,其矯頑力基本保持不變。因此,發(fā)現(xiàn)通過減少Fe細(xì)晶相的比例以增加非晶相的比例,可以在不改變矯頑力的情況下實(shí)質(zhì)上增加比電阻。

下一步出通過使用具有上述組成的軟磁性合金的磁性膜制成的電感器(平面磁性元件)的結(jié)構(gòu)。

軟磁合金


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